درباره این بنا " ماکسیم سیرو " معتقد است که یک چهار طاقی اولیه ساسانی دارد که احتمالاً معبد زرتشتی بوده؛ در دوره های بعد این چهار طاقی با الحاق محراب در ضلع جنوبی به یک مسجد ساده تبدیل شده و در قرن دوم و سوم هجری به پیروی از مساجد عربی یک حیاط به آن اضافه می شود.
در قرن ۱۱ هجری کارهای تزئینی، ایوان بزرگ بر روی حیاط و دو شبستان از پوشاندن حیاط خلوت های جانبی و مقصوره به این مجموعه اضافه می شود.
این مسجد دارای شبستان ستون داری است که نسبت به صحن مسجد در سطح پائین تری قرار گرفته است و بیشتر در فصل تابستان از آن استفاده مشود. مصالح به کار رفته در بنا خشت، آجر و کاشی می باشد و نمای مسجد با آجر کاری خفته راسته پوشیده شده که از الحاقات بعدی است.